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全自動硅片清洗機
本設備是全自動化操作，人機控制界面，工控機控制，WINDOWS操作系統(tǒng)。EAP系統(tǒng)+視頻監(jiān)控記錄。RFID自動識別。藥水自動補加系統(tǒng)。藥水在線自動分析系統(tǒng)等
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