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IPA霧化干燥機(jī)是什么

來(lái)源:yorklovetravel.com  |  發(fā)布時(shí)間:2025年03月05日
IPA 霧化干燥機(jī)是一種主要應(yīng)用于晶圓加工等領(lǐng)域的干燥設(shè)備,利用異丙醇(IPA)的特性來(lái)實(shí)現(xiàn)干燥功能,以下是具體介紹:
1.工作原理:采用加熱異丙醇形成氣霧,與惰性氣體一起對(duì)晶圓表面的水分子進(jìn)行吸附,再通過(guò)加熱使得異丙醇揮發(fā),從而實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓的清理干燥。在干燥時(shí),首先晶圓處于被夾持的靜止?fàn)顟B(tài),IPA 霧化劑噴射到晶圓的表面,由于 IPA 霧化劑具有較強(qiáng)的高分子作用力,IPA 霧化劑能進(jìn)入到晶圓表面的微孔中,將其中的水分帶出,進(jìn)而達(dá)到干燥的目的。
2.技術(shù)優(yōu)勢(shì):相比于傳統(tǒng)的如甩干與慢提拉等晶圓干燥技術(shù),IPA 霧化干燥技術(shù)能夠有效避免晶圓破碎的問(wèn)題發(fā)生,對(duì)晶圓起到更好的保護(hù)作用,提高晶圓加工的良品率。